发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291131(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920085868 申请日期 1992.04.08
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 SOE YOICHIRO
分类号 H01L21/265;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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