发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291392(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920096291 申请日期 1992.04.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOYABE TATSU;TANAKA JUNKO;MATSUO HITOSHI;KANBARA SHIRO;IHARA SHIGEO;DOI IPPEI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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