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发明名称
STATIC CHARGE REMOVING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05291100(A)
申请公布日期
1993.11.05
申请号
JP19920092520
申请日期
1992.04.13
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KUBOTA MASABUMI
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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