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发明名称 ENERGY SENSITIVE MATERIALS AND METHODS FOR THEIR USE
摘要
申请公布号 CA2085698(A1) 申请公布日期 1993.10.30
申请号 CA19922085698 申请日期 1992.12.17
申请人 JOSHI, AJEY M.;WEIDMAN, TIMOTHY W. 发明人 JOSHI, AJEY M.;WEIDMAN, TIMOTHY W.
分类号 C08G77/60;C08G77/48;G03F7/075;G03F7/16;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 C08G77/60
代理机构 代理人
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