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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05283403(A)
申请公布日期
1993.10.29
申请号
JP19920267231
申请日期
1992.10.06
申请人
发明人
分类号
C23C16/40;C30B25/14;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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