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发明名称
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申请公布号 JPH0578941(B2) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19850245887 申请日期 1985.11.01
申请人 ROHM KK 发明人 TSUJI KIMIHISA
分类号 H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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