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发明名称 FERROELECTRIC THIN FILM ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH05283756(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920077171 申请日期 1992.03.31
申请人 发明人
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/34;H01L21/02;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;H01L37/02;(IPC1-7):H01L37/02 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
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