发明名称 (B2) ;HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JPH05283592(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920306906 申请日期 1992.11.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L23/495;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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