发明名称 EPITAXIAL MAGNESIUM OXIDE AS A BUFFER LAYER FOR FORMATION OF SUBSEQUENT LAYERS ON TETRAHEDRAL SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 EP0544399(A3) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19920309403 申请日期 1992.10.15
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 FORK, DAVID K.;NASHIMOTO, KEIICHI
分类号 C30B25/18;C30B29/22;H01L21/36;H01L39/02;H01L39/24;(IPC1-7):H01L21/20;C30B23/02;H01L21/316 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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