发明名称 |
EPITAXIAL MAGNESIUM OXIDE AS A BUFFER LAYER FOR FORMATION OF SUBSEQUENT LAYERS ON TETRAHEDRAL SEMICONDUCTORS |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0544399(A3) |
申请公布日期 |
1993.10.27 |
申请号 |
EP19920309403 |
申请日期 |
1992.10.15 |
申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
FORK, DAVID K.;NASHIMOTO, KEIICHI |
分类号 |
C30B25/18;C30B29/22;H01L21/36;H01L39/02;H01L39/24;(IPC1-7):H01L21/20;C30B23/02;H01L21/316 |
主分类号 |
C30B25/18 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|