发明名称 X-ray source.
摘要
申请公布号 EP0244504(B1) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19860111572 申请日期 1986.08.21
申请人 SHIMADZU CORPORATION 发明人 SOEZIMA, HIROYOSHI
分类号 G21K1/00;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/08;G21K7/00;H01J35/00;H01J35/04;H01J35/08;H01L21/027;H05G1/00;(IPC1-7):H01J35/00 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
主权项
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