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发明名称 (A) ;MANUFACTURE OF HOLLOW DEFORMED MATERIAL FROM MULTILAYER START MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0577328(B2) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19870283411 申请日期 1987.11.09
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NIIZAWA TSUTOMU
分类号 H01L21/205;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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