| 发明名称 |
(A) ;MOVABLE STAGE DEVICE AND DRIVING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0577126(B2) |
申请公布日期 |
1993.10.26 |
| 申请号 |
JP19850281528 |
申请日期 |
1985.12.14 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS LTD |
发明人 |
NAKAYAMA TETSUYA;HIRAKO HIROSHI |
| 分类号 |
H01B17/46;H01T4/14;(IPC1-7):H01B17/46 |
主分类号 |
H01B17/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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