发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung.
摘要
申请公布号 DE68906034(T2) 申请公布日期 1993.10.21
申请号 DE1989606034T 申请日期 1989.01.24
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 SCHMITZ, JOHANNES ELISABETH JOSEF, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN DIJK, ANTONIUS JOHANNES MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;ELLWANGER, RUSSELL CRAIG, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/31 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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