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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0541491(Y2) 申请公布日期 1993.10.20
申请号 JP19890139257U 申请日期 1989.11.29
申请人 发明人
分类号 A01G5/06;A47G7/02;H01J27/02;H01J37/08;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 A01G5/06
代理机构 代理人
主权项
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