发明名称 MANUFACTURE OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267337(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920092084 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/62;H01L29/784 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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