发明名称 DEVICE FOR DETERMINING EXTENT OF COMPENSATION OF ADMIXTURES IN SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 RU1241946(C) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 SU19843825029 申请日期 1984.12.12
申请人 INSTITUT RADIOTEKHNIKI I ELEKTRONIKI AN SSSR 发明人 BUGAEV V.I.;VEDENEEV A.S.;ZHDAN A.G.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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