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经营范围
发明名称
METHOD FOR DRYETCHING AMORPHOUS SILICON FILM
摘要
申请公布号
JPH05267239(A)
申请公布日期
1993.10.15
申请号
JP19920060862
申请日期
1992.03.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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