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发明名称 LIFT-OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPH05267280(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920058540 申请日期 1992.03.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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