发明名称 Verfahren und Vorrichtung für Photolackverarbeitung.
摘要
申请公布号 DE3687902(T2) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE19863687902T 申请日期 1986.11.25
申请人 USHIO DENKI, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, SHINJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;ARAI, TESUJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OHNO, KUNIHARU, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UEKI, KAZUYOSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MIMURA, YOSHIKI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TANAKA, KAZUYA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUGIOKA, SHINJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUZUKI, HIROKO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F7/40;G03C5/00;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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