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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05263236(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 JP19920062648 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 C23C14/54;C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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