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发明名称 COMPOSITE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0253353(B1) 申请公布日期 1993.10.13
申请号 EP19870110100 申请日期 1987.07.13
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MORI, MUTSUHIRO;TANAKA, TOMOYUKI;YASUDA, YASUMICHI
分类号 H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/07;H01L29/73 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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