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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05259012(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920051212 申请日期 1992.03.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/316;H01L21/318;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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