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发明名称 X-RAY IRRADIATING OPTICAL SYSTEM AND X-RAY PROJECTION ALIGNER USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH05259036(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920085924 申请日期 1992.03.09
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05H13/04;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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