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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05259283(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920051579 申请日期 1992.03.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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