发明名称 SPIN COATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05259051(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920051844 申请日期 1992.03.10
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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