载荷传感器

摘要

本发明公开一种载荷传感器，它用以测量由诸如重力、加速度、压力以及类似东西所产生的力和独立位移。该载荷传感器具有一种梁式结构，其中的梁至少在一个平面上相互平行设置。通常，这些平行的梁设置到一个固定的基板上，并在两根梁之间设置敏感装置。工作时，由于在第二根梁中的相关偏转或作用，一根梁的偏转将在敏感装置中产生一个响应。

主权项

1、一种力敏载荷传感器，其特征在于包括：(a)一个基板；(b)设置在所述基板上的负荷支承元件；(c)设置在所述基板上用以支承负荷量的装置，所述装置与所述负荷支承元件隔开并至少在一个平面上与之平行；以及(d)用以敏感力的装置，所述力敏装置以抑制摩擦运动的方式设置在所述负荷支承元件与所述负荷量支承装置之间；当受压时，所述载荷传感器能补偿弹性模数的变化，且当偏转与被测力之间保持一线性相关时，能考虑到因环境应力而产生的偏转变化。