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发明名称
CONVERSION OF SILICA PRECURSORS TO SILICA AT LOW TEMPERATURES
摘要
申请公布号
EP0461782(B1)
申请公布日期
1993.10.06
申请号
EP19910304882
申请日期
1991.05.30
申请人
DOW CORNING CORPORATION
发明人
CHANDRA, GRISH;HALUSKA, LOREN ANDREW;MICHAEL, KEITH WINTON;BILGRIEN, CARL-JOSEPH
分类号
C04B41/87;C09D183/02;B05D7/24;C04B41/50;H05K3/24;C09D183/00;C09D183/04;H01L21/316;H05K3/46
主分类号
C04B41/87
代理机构
代理人
主权项
地址
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