发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05254993(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 JP19920057857 申请日期 1992.03.16
申请人 发明人
分类号 C01G1/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/22 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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