发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05255851(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 JP19920055390 申请日期 1992.03.13
申请人 发明人
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利