发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05251653(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920046887 申请日期 1992.03.04
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 IZAWA RYUICHI;SATO KAZUE;YOSHIZUMI KEIICHI;TAKAHASHI MASATO;HASHIBA SOICHIRO;SUZUKI NORIO;IKEDA SHUJI;HOSHINO YUTAKA;KANDA TAKAYUKI;YOSHIDA YASUKO;ARIGA SEIICHI;MATSUKI HIROSHI;MORI CHIEMI;FUJITA ERI
分类号 H01L27/06;H01L21/8249;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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