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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251567(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920050215 申请日期 1992.03.09
申请人 NEC CORP 发明人 MURAYAMA MOTOAKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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