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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05251377(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920266283 申请日期 1992.10.05
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KATO JURI
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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