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发明名称
摘要
申请公布号 JPH05243215(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920338220 申请日期 1992.12.18
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON INC 发明人 CHIEESHIA UEI;ROBAATO ERU HOTSUJI;FURANKU AARU BURAIANTO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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