发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243173(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920043435 申请日期 1992.02.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAKUBO TAKASHI;OBATA MINORU;SANO KENYA
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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