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发明名称
MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH05243400(A)
申请公布日期
1993.09.21
申请号
JP19920044660
申请日期
1992.03.02
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
USHIGOE TAKATOSHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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