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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05243219(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920044283 申请日期 1992.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 YORIKANE MASAHARU
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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