| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05243150(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
| 申请号 |
JP19920043206 |
申请日期 |
1992.02.28 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
YAMADA TAKASHI |
| 分类号 |
C30B23/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
