发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR LASER
摘要
申请公布号 JPH05243686(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920045811 申请日期 1992.03.03
申请人 SHARP CORP 发明人 HATA TOSHIO;KANEIWA SHINJI;HOSOBANE HIROYUKI;KONDO MASAFUMI;OBAYASHI TAKESHI;SUYAMA NAOHIRO;YOSHIDA TOMOHIKO
分类号 H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址