IN EINEM INTEGRIERTEN SYSTEM ZUSAMMENGEFASSTE ELEKTRONENOPTIK, DIFFERENTIALPUMPVORRICHTUNG UND BILDSIGNALERFASSUNG FUER EIN IN-SITU-RASTERELEKTRONENMIKROSKOP.
摘要
申请公布号
DE68906686(T2)
申请公布日期
1993.09.16
申请号
DE1989606686T
申请日期
1989.01.26
申请人
ELECTRO-SCAN CORP., DANVERS, MASS., US
发明人
DANILATOS, GERASIMOS D., NEW SOUTH WALES 2026, AU;LEWIS, GEORGE C., MASSACHUSETTS 01776, US
