发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES STEUERBAREN HALBLEITERELEMENTES MIT PNPN-ZONENFOLGE, DESSEN EMITTERZONE AN MEHREREN STELLEN KURZGESCHLOSSEN IST
摘要
申请公布号 DE1539665(B2) 申请公布日期 1972.08.31
申请号 DE19661539665 申请日期 1966.11.02
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/308;H01L23/482;H01L29/00;(IPC1-7):01L7/50 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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