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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0562830(B2)
申请公布日期
1993.09.09
申请号
JP19850242288
申请日期
1985.10.28
申请人
KANEGAFUCHI CHEMICAL IND
发明人
KONDO MASATAKA;TSUSHIMO KAZUNAGA;OOWADA YOSHIHISA
分类号
H01L31/04;H01L21/205
主分类号
H01L31/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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