VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG.,申请号DE19843486144T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG.
摘要
申请公布号	DE3486144(T2)	申请公布日期	1993.09.09
申请号	DE19843486144T	申请日期	1984.02.29
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	NAKAZATO, KAZUO, HACHIOJI-SHI TOKYO, JP;NAKAMURA, TOHRU, HOUYA-SHI TOKYO, JP;MIYAZAKI, TAKAO, HACHIOJI-SHI TOKYO, JP;NATSUAKI, NOBUYOSHI, HIGASHIYAMATO-SHI TOKYO, JP;OGIRIMA, MASAHIKO, SHINJUKU-KU TOKYO, JP;NAGATA, MINORU, KODAIRA-SHI TOKYO, JP
分类号	H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L29/72;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/285;H01L27/06	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
主权项
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