| 发明名称 |
PLANETARY REACTOR FOR EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0334433(B1) |
申请公布日期 |
1993.09.08 |
| 申请号 |
EP19890200665 |
申请日期 |
1989.03.16 |
| 申请人 |
LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE PHILIPS;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
FRIJLINK, PETER |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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