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发明名称 DEVICE FOR ELLIPSOMETRIC ANALYSIS, METHOD FOR THE ELLIPSOMETRIC ANALYSIS OF A SAMPLE, AND USE IN THE MEASUREMENT OF THICKNESS VARIATION OF THIN LAYERS
摘要
申请公布号 EP0332508(B1) 申请公布日期 1993.09.08
申请号 EP19890400582 申请日期 1989.03.02
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 VAREILLE, AIME;VUILLOD, YVES;THEVENOT, LOUIS
分类号 G01B11/06;G01N21/21 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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