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发明名称
DEFECT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05232038(A)
申请公布日期
1993.09.07
申请号
JP19920026350
申请日期
1992.02.13
申请人
NEC CORP
发明人
YOKOI SADAAKI
分类号
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H05K3/00
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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