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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0566990(U)
申请公布日期
1993.09.03
申请号
JP19920016163U
申请日期
1992.02.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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