发明名称
摘要
申请公布号 JPH0566990(U) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920016163U 申请日期 1992.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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