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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226435(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920026658 申请日期 1992.02.13
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 MABUCHI SHUJI
分类号 G01R31/26;H01L21/3205;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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