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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0566972(U) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920017147U 申请日期 1992.02.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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