| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05226312(A) |
申请公布日期 |
1993.09.03 |
| 申请号 |
JP19920027857 |
申请日期 |
1992.02.14 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
SENBONMATSU SHIGERU;YAMAZAKI TSUNEO;IWAKI TADAO;MATSUSHITA KATSUKI;TAKANO RYUICHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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