发明名称 THIN FILM WIRING AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05226337(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920057549 申请日期 1992.02.10
申请人 NEC CORP 发明人 MITSUZUKA TSUTOMU;KAMIJO ATSUSHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H03H3/08;H03H9/145 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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